是介于常量分析和微量分析之間的一種分析方法。被測物質(zhì)的取樣質(zhì)量為0.005～0.1克；按取樣體積為0.1～1.0毫升。半微量分析可分為半微量定量分析和半微量定性分析。半微量分析是較常用的分析方法，特別是在巖礦分析中，一次取5～100毫克樣，用電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP/AES）、電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP/MS）、X射線熒光能譜法（XRF）等方法可同時測定幾十個組分的含量。